Semi-conducteurs
Applications
Technologie infrarouge dans le secteur des semi-conducteurs
Dans la production de semi-conducteurs, la précision est requise dans les espaces les plus restreints. Les processus tels que le traitement thermique rapide (RTP) exigent des changements de température extrêmement rapides en l’espace de quelques secondes, sans compromettre la qualité, la stabilité du processus ou la sécurité.
Pour y parvenir, des sources de chaleur fiables et contrôlables sont essentielles. DR. FISCHER Europe est un partenaire de confiance de l’industrie depuis de nombreuses années, offrant des solutions infrarouges personnalisées qui sont précisément adaptées pour répondre à ces exigences élevées. Nos technologies soutiennent les étapes clés de la production avec une efficacité maximale, permettant des processus de fabrication fluides, reproductibles et de haute performance.
Rapid Thermal Processing (RTP)
Dans le RTP, les plaquettes de silicium sont chauffées à plus de 1 000 °C pendant quelques secondes. Un refroidissement contrôlé est tout aussi important qu’un chauffage rapide afin d’éviter les contraintes thermiques, les dislocations et la rupture de la plaquette.
C’est ce que permettent nos lampes infrarouges à haute intensité :
- Temps de chauffage extrêmement rapides
- Distribution uniforme de la température
- Grande stabilité du processus
Domaines d’application typiques :
- Activation de dopants
- Oxydation thermique
- Refusion du métal
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
Outre la technologie RTP, nos systèmes IR sont également utilisés dans de nombreux autres domaines de l'industrie des semi-conducteurs :
Conditionnement de semi-conducteurs
Des sources de chaleur précises sont essentielles dans le processus d’emballage des micropuces, par exemple pour le soudage ou le collage. Nos solutions IR garantissent des résultats reproductibles avec une efficacité énergétique élevée.
Production de cellules solaires
L’industrie photovoltaïque bénéficie également de nos solutions de chauffage, par exemple dans les domaines suivants :
- Dopage et procédés CVD
- Lamination
- Thermorégulation de cellules solaires
Autres domaines d’application
Nos lampes jumelles et autres produits IR sont utilisés à différents stades de la production de semi-conducteurs – chaque fois qu’une chaleur rapide, précise et propre est nécessaire.
Nos solutions sur mesure
Systèmes UV
Systèmes LED UV (ou lampes) pour la polymérisation d’adhésifs à séchage UV
Systèmes IR
Systèmes IR pour le séchage de colles à base de solvants
Lampes UV et IR
Lampes UV et IR adaptées à différents procédés de fabrication d’adhésifs